氣瓶泄漏防護(hù)裝置

在制造微電子元件、光學(xué)元件、分析儀器和其他專用提備的作多工藝步驟中都會(huì)用到 反應(yīng)氣體．其中許多反應(yīng)性氣體對(duì)工人的危將極大，其生產(chǎn)、儲(chǔ)存、運(yùn)輸和最終使用都必須遵守嚴(yán)格的安全程序· 這些氣體以壓縮氣體或加壓飽和液體的形式在常溫下用鋼瓶每個(gè)儲(chǔ)氣罐部有一個(gè)或多個(gè)出口，這些出口通常都有螺，紋，用于安裝流體配件，如截止閥、角閥等他連接件。泄漏可能發(fā)生在流體配件如O型密封圈，螺紋連接處，在許多情況下，這些泄漏都很小，（小于或等于50SCCM）但是即使小泄漏也會(huì)造成危險(xiǎn)，并可能發(fā)展成較大的、潛在的災(zāi)難性泄漏。柔性樹脂式卡箍式密封是不是可以